中文版产品名称：MASFLO-OVAL II（FHA、FHB）
概 要
可以测量或控制各种气体的热式质量流量计/控制器。适用于各种气体供给系统、气体混合工艺、实验工厂、半导体制造工艺、研究所等使用的气体流量测量以及流量控制。
特 长
・无温度和压力校正，可直接测量标准换算（0℃、1 atm）后的流量
・适用的气体种类很多
・也可测量混合气体
・适用的气体种类很多
・也可测量混合气体
主要规格
| 机型 | FHA（流量表） | FHB（主流控制器） | |
| 连接 | 嵌入式接头、金属垫圈面密封接头等 | ||
| 流量 | 最小 | 0.1mL/min（normal） ※1 | |
| ****** | 500Ｌ/min（normal） ※1 | ||
| 掉头 | 1：50 | － | |
| 控制区域 | － | 2～100％ | |
| 使用温度范围 | －10～＋70℃ | ||
| 最高使用压力 | 39.2MPa | 19.6MPa ※2 | |
| 精度 | 全标±1%（实际气体校正时） | ||
| 电源 | ±15VDC | ||
| 主体材料 | SUS316 | ||
| 输出 | 模拟 | ||
| 结构 | 非防爆、IP20 | ||
| 应用流体 | 原则上用化学式表示的气体 | ||
※2：根据流量而不同。
